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真空探针台 CRYO系列
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产品型号:CRYO系列
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真空探针台 CRYO-X系列 

真空探针台基本参数:
*
操作温度

高温:可达100700℃,

低温根据用户量测环境的需求,选择不同的低温冷却系统,如:可选择液氮或液氦冷动系统,分别可达到80K20K25K

* 温度可控,可控精度<0.1

* 真空度10-310-5Torr
*
防震动设计
*
测量范围DC67 GHz
*
最多可容纳100毫米晶圆
*
可配置多达四个微操纵探针臂(波纹管)
*
探针座微操作器行程±12mm
*
电缆线屏蔽、电气噪声、热辐射损失降到最低

* 可预留不同尺寸接口以备充入其它气体使用

* 可预留接口以备安装电子阀及流量计之用

* 显微镜观察系统可选

注:真空高低温探针台根据用户特定使用需求定置完成,更详细的参数请致电或Eamil联系我们

电话:010-56212963  

Eamil:sales@