探针台产品系列
直流/高频/射频/微波/主动式探针(GGB)
霍尔效应测量系统
电学量测仪表
探针台各类组件
探针台解决方案
电学量测解决方案
光学视频显微镜
超长工作距离光学视频显微镜
测量显微镜
超高真空系統 (UHV)
光学自动化系统集成
首页>> 产品信息
新闻 下载
6寸手动探针台APS150[T]型
点击资料:36
产品型号:APS150
點選放大圖   點選放大圖   點選放大圖   點選放大圖
相關產品介紹


6寸探针台 APS150 DC/HF标准型
可兼容DC测试、射频、高频、微波测试
直流到高频量测范围

产品特点:

与APS系列其它型号相对应,150型适合于6寸晶圆以及同尺寸样品的量测分析,主体台面尺寸可放置多达8个探针座,操作便捷

XY高精度大行程平台调节,Z轴快速升降,U型面板设计,结构稳定

可搭配体式显微镜/高倍率长工作距离视频显微镜/高分辨率金相显微镜、荧光显微镜等
探针座可根据移动精度选择,吸附方式可选磁吸附或真空吸附

显微镜组件带有XYZ三方向调节装置,配置连接组件,可安装各类显微镜主体

可升级半自动系统

规格:

组件/型号

APS150

显微镜配置

体式显微镜

倍率:10X-300X

真空吸附卡盘

6寸不锈钢 150mm

主体平台XY移动行程

150mm*150mm

显微镜位移台行程

25mm*25mm

旋转角度

0-30O

Z轴行程

5mm

探针台本体

固定式

可放置样品尺寸

5mm*5mm至150mm(6寸)

真空卡盘平坦度

10um

尺寸

580mm*460mm*700mm

重量

60kgw

其它外围组件可选:

* 体式显微镜/高倍率超长工作距离视频显微镜/高分辨金相显微镜
*
真空吸附加热卡盘(温度:200
/300℃或其它
*
可选低温制冷卡盘
*
低温罩箱(用于充入氮气低温制冷)
*
客户定制化移动平台
*
气压式显微镜升降调节
*
各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线等
*
低电容、电流探测装置
*
高电压探测装置
*
雷射切割装置
* CCD
C-MOS视频成像装置
* 各类探针夹具
*
静音真空泵
*
屏蔽箱
*
防振桌
*
适配器
*
转接头
*
电学测试设备
* 升级配置

 

如需更多详细技术参数请致电或联系我们

联系电话:010-56212963  13581657381

电子邮箱:sales@